油扩散泵的性能参数  (1)极限压力  油扩散泵的极限压力是指泵装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作  的情况下，趋向稳定的最低压力。泵的极限压力受许多因素的影响，如前级侧气体的反扩  散、泵壁温度下泵油的饱和蒸气压、蒸气流中释放出来的气体以及泵壁放气等。其中气体经  过蒸气射流的反扩散与蒸气射流下部的气体压力、蒸气射流的密度和速度以及气体的分子量  有关。

为提高油扩散泵极限压力可采取如下的方法。  ①改进扩散泵结构设计如加分馏装置、合理分配锅炉加热功率，增大锅炉中心区  改进喷嘴角度设计，在一级导流管中加装加热器进行气相加热，以增加蒸气流速度减少蒸气  流的散射。上述措施也可以减少油的裂化、返流，提高泵的极限压力。  ②减少油蒸气的返流  a加挡油帽，在第一级喷嘴上面，加水冷挡油帽，通常可使返油量降低半个到一个数  量级  b.障板，使用水冷或低温介质冷却的各种障板，可使返油量大大降低。  c冷阱，使用液氮冷阱捕集返流蒸气，液氮冷阱不能全部把油蒸气挡住，仍有少量的  油气分子通过冷阱进入被抽容器中，其途径如图499所示：两个油分子之间的碰撞；油分  子和气体分子的多次碰撞；未被捕获的油分子反弹到高真空的区域中；室温下油从泵壁表面  迁移。扩散泵系统采用液氮冷阱后可获得10-8~10-9Pa极限压力  d.吸附阱。扩散泵进气口安装13X型分子筛或氧化铝吸附返流的油蒸气后，可以获得  10-8~10-9Pa的真空度。但这种阱有如下缺点：吸附剂易粉末化；吸附剂要再活化；需经  更换吸附剂，操作不便