在超高真空实际量中，图量结果的准确性除了和真空计本身、真空计的校准  有美外，还和测量中其他因素有关，如气体种类和被测系统状态、直空计规管及连  接管道的抽气与放气、规管的安装位置及方法等。超高真空系统中的气体组分比较  简单，残余气体和常用的工作气体多为H2、N2,Ar、CO、CO2等单一气体，影  响量的O、H1O、油气等气体可以少于考虑。影响测量的主要因素为：电离  规的抽气与气体再释放、热表面与被测气体相互作用及非均匀态的压力测量等。  (1)电离规的抽气气体再释放作用  电离规的抽气机理包括电清除抽气和化学抽气两种类型。电清除原理为：电子  颐撞气体分子使气体电离为离子，具有一定能量的离子打到规壁或收集极上，这些  离子被束博在固体表面成被埋入表层内部从而起到抽气作用。电清除的抽气速率和  发射的电子流、各电极电位、有无磁场、规管壁的温度有关。发射电流增加，离子  流也将线性增加，因此电清除的抽速与电子流有近线性关系。电子加速电位(栅极
电压)变化将改变电离效率和离子能量，因此也将改变电清除的抽速。在磁放电冷
阴极规中，由于磁场的存在，电离效率更高，所以冷阴极电离规的电清除作用
更大
化学清除抽气的类型包括：①化学活性气体(H2、Nz、CO、CO2)在固体表  面的化学吸附效应；②高温钨丝的氧化作用，在高温下对氧的化学抽气；③气体在  高温钨表面的分解作用，如氢分子在高温钨表面可以分解为原子态氢被吸附在规的  壁上，对氢形成抽速
表4-6给出超高真空规对不同气体的起始抽速。  规管的放气包括热解析、电解析和光解析三个内容。热阴极在高温下本身就是  一个放气源，同时高温热辐射到规管壁或其他电极表面，将引起气体的解析。因此  在超高真空条件下使用热阴极规测量时，必须对测量规进行严格的除气。:
被之而电压  由于电子收集极存在气体吸附层，当电子打到其表面时导致吸附层的气体解  析，或先将表面吸附的气体电离后再以离子形式解析出来。这种解析效应称为电子  碰撞解析(EID)。EID是限制热阴极电离规测量下限扩展的重要因素。  光解析是指固体表面受到光辐照时，表面上的分子解析和分解现象，光解析截  面和光的波长有关。在超高真空测量中，特别在高能加速器和受控聚变反应器的超  高真空装置中，光解析引起的对测量干扰应需要特别注意。  (2)热表面与气体的相互作用  测量规的热丝与气体相互作用会导致氧化、分解或在催化下生成新的气体分  子。这将引起系统气体组分发生变化，给超高真空分压力测量和气体成分分析带来  困难。例如，高温钨丝表面分解的原子氢H被吸附在不同表面上并与其他气体生  成一氧化碳、碳氢化合物等其他气体
-wOa  +H2, CHA  (3)气体非均匀态的环境对测量的影响  在超高/极高真空系统中，气体定向流动和不等温状态往往同时存在，因此非  均匀状态下的压力测量问题已成为一个重要的理论问题。航天技术的发展，特别是  长期留人的空间站的研究，为了确保密封舱的安全，航天员出舱进行密封舱泄漏检  测就面临如何进行非均匀态压力测量问题。气体从舱内泄漏孔向空间环境流出，在  此条件下压力测量为非平衡态测量，因此必须采用指向性规。该规将来自一定方向  的非平衡态分子流通过准直管引入平衡室，在平衡室内将非平衡态分子流转换为平  衡态分子流，再用平衡态压力测量传感器测量出压力值。  指向性真空规在结构上通常由准直管、平衡室、检测室、压力测量传感器、控  制单元和电源等几部分组成，多管准直型指向性真空规具有结构简单、体积小、方  向性更好、响应快等特点，是最适宜用于空间站舱外泄漏检测的指向真空规
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