超高真空校准  超高真空计是超高真空全压力测量的重要工具，为了得到准确的测量结果，必  须对真空计进行校准以保证在超高真空条件下应用的可靠性。此外，对于冷阴极电  离规的非线性，尽管生产厂家作了线性处理，但如果不进行校准仍会带来很大误  差。热阴极电离规在线性测量范围内要达到测量精度也需要进行校准。校准是在专  门的超高/极高真空校准系统中进行的。目前采用的校准系统有：分子束法校准系  统、压力衰减法校准系统、流导调制法校准系统和分流法校准系统。  图4-12所示为采用分流法和压力衰减法的极高/超高真空校准装置，包括：极  高真空系统、超高真空系统、流量分流系统和供气系统。分流法是将已知流量气体  引入分流室，通过分流室两个流导相差很大的小孔(流导比约为100:1)分流到  极高真空校准室和超高真空校准室。在动态条件下极高真空校准室的压力p为：

4-10)  p=QC(1-R)(1+Rc)  式中Q引人分流室气体流量，Pa·m/  Rn极高真空系统抽气限制孔返流  C-—极高真空系统抽气限制孔流导，m3/s;  Rc—分流室分流小孔流导比(流入超高真空室小孔流导和流入极高真空室  小孔流导之比)

 
式中的各参数R、C、Rc均可以通过实验精确测量，Q可以由精密微流量计  给出。利用校准室压力可以对被校准规进行绝对校准  在没有流量计的条件下，可以向分流室充入一定压力气体，通过小孔向极高真  空校准系统充气，动态平衡后极高真空校准压力被衰减为  p=pC1/C(l-Rp

(4-11)  式中p动态平衡时分流室压力(标准压力规测量),Pa;  分流室流向校准室小孔流导，m3/s;  该校准装置的主要技术指标为：校准室极限压力，极高真空校准室为7.9  10-0Pa,超高真空校准室为2.3×10-9Pa;校准压力范围，分流法2.1×10  7.9×1010Pa,压力法2.1×10-4~2.3×10-9Pa;不确定度小于0.41%~3.5%  利用该装置对反磁控冷阴极计和热阴极超高真空计进行校准给出修正系数和系数  压力曲线。校准时间约为7天(包括规连续校准2天时间)。  为了满足常用的超高真空电离计的校准要求，通常采用比对的相对校准方法  该方法具有校准装置结构简单、操作方便、校准效率高和实用性强等特点。比对法  超高真空校准装置如图4-13所示，校准系统采用圆柱形结构，由抽气室和校准室  组成，两室之间采用一个圆孔限制流导。被校规和参考规分别安装在校准室赤道线  的对称位置上。参考规选用IE514分离规，该规在极高/超高真空校准装置上进行  压力绝对校准，不确定度1.8%。比对校准系统的技术指标为：校准系统极限压力  5×10-9Pa、压力校准范围10-7~10-5Pa、扩展不确定度≤10%(k=3)。

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