分子吸附泵的结构形式
子很泵的结构应满足如下条件,1)使分子筛能得到充分冷却,通常采用一些  面或液氲管,冷却较深部位的分子师2)使气体易于深入分子筛内部。通常用一些金属  网分子,以持气体有一定的通导深人泵的内部:3)节省液氮的消耗量,4)易于对分  子加热两生5)因为分子筛在液氮温度下吸周大量的气体,当温度回升时,所吸气体会  慢地放出来,使泵内形成几十倍于大气压的高压,会造成破坏事故。因此必须设安全网,当压  力超过大气压时自动打开
吸附泵的结构因冷却方式不同,可分为内冷式和外冷式  9.3.3.1内岭式
图9-21为一台内冷式吸附泵结构示意图  泵外壳由不锈钢制成,在泵壳内安放着导热性能  线
好的液氢容器,容器外侧焊有许多导热性能良好  的无氧钢翼片,以保证分子筛能得到充分而均匀  的冷却和烘烤,液氮置于容器内。翼片四周有镍  液氤  问或不锈钢制成的网围住,防止分子筛散漏掉  5A分子  翼片间距适当(一般为6mm),以保证分子筛的  再生电炉  充分冷却泵壳是一个具有真空夹层的双层壁。  无氧锕翼片
泵使用时,把泵与被抽系统接通,再由上盖  N网或不锈钢网  板的液氮注入孔将液氮灌入容器,置于翼片上的  分子筛便被冷却,分子筛便大量吸气,抽吸被抽  不锈钢外壳
系统中的气体,使系统达到一定的真空度。被抽  成真空。被抽吸的气体贮存在分子筛吸附剂内,因此这种泵吸附直到分子筛饱和为止  图9-21内冷式吸附泵的结构  分子筛真空泵需加热再生,待再生完毕后再次使用。再生时,将泵与被抽系统切断,停止
      供给液氮,则液氮蒸发完后,容器升温,吸附剂吸入的气体将重新释放出来,得到解吸活化  当气体放出后使泵内压强高于大气压,这时气体将把安全阀上的橡皮塞子冲出,排入大气中  再生时也可由液氮注入口插棒状电热器,通电加热,如对分子筛可加热至300~350℃,一般  子筛脱水温度为300~350℃,时间为0.5~1h。若用几次后分子筛吸气能力明显衰退,则需  在500-550℃下加热激活  般的吸附泵,分子筛装量约为1kg,可以把50L的

如果两台吸附  容器由大气压抽到1Pa,液氮消耗约为  真空和吸气容量都较高;消耗的液氮较少;附件少(不需引  泵串联使用(采用二级抽气),可以达到5×10-2Pa以下。  内冷式吸附泵的优点:分子筛能充分冷却,因而极限  要外附液氮套);再生电炉功率小。缺点是加工较复杂  9.3.3.2外冷式  图922给出两种外冷式吸附泵的结构示意图。泵壳  是一个不锈钢圆筒,焊上辐射状铜制的导热片或液氮冷却  管,以保证分子筛冷却良好。泵的中心安放一个顶端封闭  的圆柱状金属网筒,以保证气路畅通。分子筛放在这些导  热片(或液氮冷却管)与网筒之间。吸附泵套上一只塑料  筒盛放液氮;分子筛需加热再生时,把它卸下,另装  “穿衣式”电炉加热。

图9-22外冷式吸附泵的结构  这种类型的吸附泵,单泵抽50L体积,从大气压开1-液氢套,2一液氮;3-导热片  ,可达1Pa。双级串联,可达10-1Pa。双泵的液氮消4分子筛;5不锈钢(银、镍)网;

6—液氮冷却管;7一安全阀  耗量约为8~10L。  这种结构的优点是加工简单,漏气可能性小,循环启动方便。缺点是液氮消耗量大,附件  多,分子筛的冷却不够好,因此吸气容量和极限真空都较内冷式差些