根据要求的工作压力Pw和使用要求,选择油扩散泵为主泵。其真空抽气机组如图3-12  从图3-12可知,扩散泵上面安装有中600单百叶窗障板;障板上面安装有GDDJ600手  电两用挡板阀,前级配有两台2X-70型机械泵组成真空机组

a)根据所需的有效抽速,考虑到加上障板、挡板阀后的泵的抽速损失,暂选抽速为  17000L/s的K-600T扩散泵进行试算  b)计算扩散泵与真空室排气管道的流导,为验证选K-600T扩散泵是否合适  总的流导C由高真空管道C1、障板流导C2、挡板阀流导C3串联组成。
确定气体沿管道的流动动态。当真空室工作压力Pw=2.67×10-2Pa,扩散泵入口压力  很低时,故管道出口压力可以忽略。管道中的平均压力p=Pw/2=1.33×10Pa,此时  pd=7.92×10-Pa·cm<2Pa·cm(d为管道直径),可见为分子流  在分子流状态下,高真空管道流导C1=11.64AaL/s,A为管道截面积,a为流导系数。当  L/d=125时,得a=0.5,代入C1式得C1=1639/s;C2为15000/s,C3为12600/s  C2C3+C1C3+C1C24830.6L/s  总流导C  c)计算扩散泵的抽速S。扩散泵的抽速S由真空室所需的有效抽速S和总流导C决  定,计算公式为

14162.3L/s  由此可知,选择K-600T扩散泵是合适的。此泵在10-2~10-4Pa范围内的平均抽速为  16000~17000L/s,极限真空度p0=7×10-5Pa,能满足本机真空系统为2.67×10-2Pa的  要求。而该泵的最佳工作压力在1×10-2~1×10-4Pa,能满足本机工作压力Pw为2.67×  10-2Pa的要求。