获得极高真空的运转经验,该系统的主要运转规范作如下描述  ①系统预处理系晚正式运转前,最好进行一段时的真空“浸泡”系统长期暴国大气  后,需先充入干燥氮气进行置换冲洗,以减小水蒸气对系统的污染  ②抽空和加热烘烤同时启动“夹层”、“隧道”、“主容器”三路真空系统的机械泵:启  动氟里品致冷机并通冷却水,待各路真空系统达到一定真空度并且氟里昂机正常运行(氟里  冷冻障板进出口结霜)后,开启各路系统扩散泵,通冷却水;各路真空系统进入高真空  开始烘  冷研为保护外壳端部法兰及大冷群法兰密封圈(氟橡胶制),加热烘烤时必须通冷却水
③保温系统烘烤和保温是为了加速材料表面放气过程,一般来说,烘烤温度愈  保温时间愈长,出气愈会彻底,但根据实际操作经验,烘烤温度不宜过高,一般可控制在250℃左右。烘烤时间尽量长一些,便于各部分温度均匀。也可以预先充入少量氮气,在气氛中烘烤,其效果更好,采用的烘烤规范是:在250℃下保温48h。在整个烘烤过程中,用BA规监视主容器真空度,到保温结束时,系统真空室一般可进入10-6Pa量级,从而能达到均匀烘烤和彻底去气的目的
④升华泵(钛钼丝)去气在极高室外围和内部装设两个钛升华泵,其蒸发源为国产  钛铝合金丝(85%的钛,15%的)曾对其蒸发参数和吸气性能作过详细的试验研究。试  验表明,该材料吸气性能与它本身去气历史关系极大,在超高真空和极高真空范围内尤其如  此。对于新丝,要求在真空退火炉中进行真空除气。其规范是:真空度为10-3-10-4Pa,  温度为700~800℃,保温时间为1~2h。或者在系统烘烤过程中原位去气蒸发2~3次亦可  达到此目的。钛钼丝去气过程是在热状态、高真空环境下进行的。大小钛泵的去气功率分别  为1.2kW和0.4kW,去气次数为3~4次,每次去气时间为10min左右,在去气过程中  由BA规监视其去气效果,以系统动态压力无明显变化为满意  ⑤测量规管去气系统经长时间高温烘烤去气,再经过自然冷却后,其表面放气率会  大大降低。当极高真空室冷却到液氮温度时,其放气率更低。此时,与测量规管在工作状态  下的总放气量相比,该项是可以忽略的。因此,规管各电极表面能否彻底去气将直接影响最  终获得水平。为使规管去气彻底而有效,并考
行电子轰击去气,去气电流约100mA,去气次数为3~5次,每次去气时间为10min,在弯  往规去气过程中,用BA规进行真空度变化监图  ①蒸钛蒸钛对极高直空获得具有至关重要的作用,蒸钛有两种方式,一是冷态(器壁  处于液氮温度)蒸钛:二是热态(器壁处于较高温度)蒸钛。根据经验,热态蒸钛效果更好,  在超高真空或极高真空下,由于气体分子非常稀少,故适量蒸着的钛膜将在足够的时间  内m持其吸气性能。采取高温、超高真空(10-6-10-Pa)下间断蒸钛方式。大小钛泵的  蒸发功率分别为1.4kW和0.6kW,蒸发次数为3~4次,每次蒸发约10min  ①冷却内壳当内壳温度接近室温后,通过液氢盘管向内壳注入液氮。随着内壳温度  的降低,由于壳体内壁上蒸着钛膜所形成的冷冻钛升华阱作用,系统真空度将得到进一步提  高,当内壳壁面彻底冷却后,系统真空度可稳定地达到10Pa  冬值得注意的是,由于内壳在冷却过程中的温度变化,将对端部法兰圈(氟橡胶制)密封产  响(螺栓松动,密封失效)为此,须在内壳冷却初期重新将密封法兰上的所有螺栓拧紧  ③冷却极高真空室极高真空室内的最终冷却(通过液氮),将对系统极限压力产生直  影响,当极高室储槽内通入液氮后,由于表面上蒸着钛膜的巨大吸气作用,系统真空度将  随着壁面温度的不断降低而逐步和稳定地提高,最后可达中等10-1Pa的水平  ⑨液氮减压极高真空室储槽内液氮的减压,是为了进一步降低液氮的温度,提高壁  表面上钛膜对气体的粘着效果。试验证明,这是一项十分有力的措施,最终能使系统极限真空度达到良好的10-11P  0极高真空度的测量在极高真空室端部法兰上安装了两个测量裸规:一个是调制B  A规,其商用规头型号为IMR103,灵敏度常数为0.188Pa-1;配用巴尔蔡司公司生产的  G040型全自动数字显示超高真空电离真空计。另一个是510所研制的陶瓷蕊柱结构的棵  弯注规,其灵敏度常数约为0.105Pa-1,离子流测量采用日本进口的TR84型振簧式静电  计,两规灵敏度常数皆由“科工委真空计量一级站”校验过  .极高真空规的灯丝如果选用钨丝,由于灯丝的工作温度高达200K0以  灯丝工作时的蒸气压达10-10Pa,不能用于测量更低的压力。需要改为敷氧化钍的钨灯丝以降低灯丝工作温度以及蒸气压。实验结果见表3-13  b.本实验需要测量的离子流大
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