各类真空装置的真空室均设有门。其目的
是便于室内安装各种机构;二是用于取送  物料及材料。门通常由密封法兰、门板、门铰链、密封圈预紧机构等组成。门板有凸形的和  平板形的两种形式,视真空室壳体结构而定。门有圆形和矩形两种。圆形门易加工,是设计  真空室时常用形式。矩形门加工密封槽不方便,但有些真空室设计亦常用。如医药及生物制  品用的真空冷冻干燥机、生物试验舱、电子束沉积设备、箱式双开门多层电子束镀膜机、平  面磁控溅射镀膜设备,大型电子束真空焊机等。矩形门的门板是平板式的,为减少厚度多采  用加强筋结构。圆形门板常用标准凸形封头。门上的法兰为防止变形影响密封性能,常采用  焊后经真空检漏合格后精加工密封面及密封槽。门的密封槽一般都开在筒体法兰上,图2  给出了门开启方式示意图。
门的强度按封头公式计算。  门的开启可以用手动或机动。门上有夹紧机构。夹紧机构的类型有丝杠螺母机构、偏心  夹紧机构、楔形机构等。图2-2给出了一种丝杠螺母机构简图。夹紧机构给密封圈一定的
“预紧力”的压力为0.5~0.8MPa。如果真空室是钟罩式的(如各种镀膜  16
机),就不需要有夹紧装置,钟罩本身的重量就可以使密封圈得到足够的预压力。抽气后大  大的门由于受大气压力的作用很大,容易损坏密封圈。例如直径为2m的圆形门,  气压作用在密封圈上,密封就更可靠了  其上的作用力约为3×105N。因此在设计密封槽时,要注意不使密封圈承担过大的力  密封槽的截面积要大于密封圈的截面积,且能允许密封圈变形30%(密封圈截面高度  矩形门的结构形式多种多样。门板有平板形式,为防止门板受压变形,常有加强筋。  压缩30  门的铰链有旋转式、平移式。门上的夹紧机构有丝杠螺母夹紧机构,也有偏心轮夹紧机  构,图23给出了ED1610大型真空电子束焊机所配置的矩形平板式大门结构示意  的可平移的启动机构。启动机构上方有两个滑轮可在门导轨上滑动;启动机构的左右侧  面有两组滑轮与导轨左右侧面紧贴着,以防止门在平移时摆动;门板厚度为30mm;在它  的外面焊有高度为100mm、宽度为20~30mm的井字型加强筋,确保门在受工作压力时  不变形。门的正上方设计有直径为p600mm的多层玻璃观察窗。可供焊机对工件焊接时  观察工件焊接使用。门的左右两边装有拉杆组件。拉杆的上下装有偏心轮;当门开启时  扭动拉杆90°使偏心轮将门与真空室门框密封面脱开;使门很轻松地左右移动;反之,当  门关闭时,再将拉杆扭动90°,使偏心轮脱离原位后,将门与真空室密封面紧贴。焊机抽  真空时,门与真空室之间靠大气的压力压紧。实践证明,在诸多的平移式门中,该门结  构是可靠的,结构是合理的
除门以外,真空室还焊有一些法兰盘或管道,通过它们与抽气系统相接,或者把各种传  动引入真空室中,或者引入电极等。

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