小型扩股互高直空抽气机组通常配置有储气罐,设置在扩散泵和前级泵之间,储存扩夏排出的气休,设置储气罐的原因如下  ①由于需要防震而设置储气罐,真空系统工作时,某些工艺过程要求严格防震,因此  需要机械泵在一段时间内停止工作,在这段时间内,扩散泵排出的气体全都储存在储气  中,储气代替机械泵维持扩散泵正常工作  这种用途的储气罐的体积V为
(3-28)式中Q—在机械泵停止工作的时间内扩散泵的排气量,PaL/s
—机械泵停止工作的时间,也就是要求储气罐工作的时间,s
扩散泵临界前级压力,或经过时间t后,储气罐中所允许的最高压力,Pa
p—机L械泵工作时扩散泵的前级压力,或t=0时,储气罐内压力,Pa  例如某工艺生产过程中,机组的排气量为10-1Pa·L/s,要求机械泵中间停止工作1h  需要前级储气罐的体积多大?扩散泵前级耐压取10Pa,正常工作时前级压力为7×10-Pa  将Q=10-12·L/s,t=3600,p1=10Pa,p=7×10-1Pa代入公式(328)得

38.7(L)  10-7×10
②为了缩短工作周期而设置储气罐。有些生产工艺要求在不关闭扩散泵加热器的情况  下,真空室放进大气换取元件、装料。装料后用机械泵预抽真空室,这段时间内利用储气罐来维持扩散泵工作。  ③为防止真空室内瞬时大量放气影响扩散泵正常工作而设置储气罐。工艺生产中某  段时间内放气量特别大,但时间短,若按此时的最大排气量配机械泵很不经济,这样可  配置前级储气罐,在最大放气量时储存一部分气体,以避免扩散泵前级压力超过临界前级压力。  前级储气罐体积计算同式(328)。但设计这类前级罐时,应满足下面关系式

(3-2式中U—储气罐到扩散泵出口管道的流导,L/s
V储气罐体积,L
1—储气罐工作时间,s
p—扩散泵临界前级压力,Pa
p1—机组正常工作时,扩散泵前级压力,Pa
④用于稳定扩散泵出口压力而设备储气罐。机械泵排气是脉冲的,虽然频率不高(  般为7次/s左右),也会引起扩散泵出口压力的波动,设置储气罐可减少这种波动。  (2)预抽泵  预抽泵(粗抽泵)主要用来抽除真空室中的大量气体,使真空室气压由1×105Pa降到  主泵能够启动工作时的真空度,因此,要求预抽泵所达到的压力小于主泵的启动工作压力,  预抽泵(如机械泵)的抽速大小由粗抽时间决定。从公式(3-15)导出

v. Pi  Sp-2. 3Kg-Ig-(L/s)  式中
预抽泵的名义抽速,L  V真空室容积,  p1开始抽气时的真空室压力,通常为1×105Pa  p主泵启动压力(或预抽结束时压力),Pa;  修正系数;  K  t—预抽泵的抽气时间,对于容积V<1m3,取t=10~20min;中等容积V=2  4m3,取20~30min;大型容积,即V>5m3的真空室,取t=30~60