真空设备设计过程中需要注意哪些细节事项？

真空设备设计过程中需要注意哪些细节事项？真空设备制造产业发展研究报告阐述了世界真空设备制造产业的发展历程，分析了中国真空设备制造产业发展现状与差距，开创性地提出了"新型真空设备制造产业" 及替代品产业概念，在此基础上，从四个维度即"以人为本"、"科技创新"、"环境友好"和"面向未来"准确地界定了"新型真空设备制造产业" 及替代产品的内涵。

根据"新型真空设备制造产业" 及替代品的评价体系和量化指标体系，从全新的角度对中国真空设备制造产业发展进行了推演和精准预测，在此基础上，对中国的行政区划和四大都市圈的真空设备制造产业发展进行了全面的研究。

真空设备设计中的注意事项如下：

(1)根据设备的工艺要求，确定真空设备的总的最大允许漏率。并依据这一总漏率确定各组成部件的最大允许漏率。

(2)根据设备的最大允许漏率等指标，在设计阶段就初步确定将要采用的检漏方法。并作为指导设备设计、加工、调试、验收的基本原则之一。

(3)根据设备或部件的最大允许漏率指标，决定设备的密封、连接方式和总体加工精度。如法兰采用金属密封或橡胶密封，以及何种动密封形式能够满足要求。

(4)容器结构强度设计时，考虑如果采用加压法检漏时要求被检件所应具有的耐压能力和结构强度。

(5)选择零部件结构材料时，考虑是否使用了可能被工作介质和示漏气体腐蚀而导致损坏的材料。

(6)结构设计时，在容器或系统上要留有必要的检漏仪器备用接口，以便在设备组装、调试过程中检漏使用。尤其是大型、复杂的管路系统，通常需要采用分段检漏方法，因此在管路上要设置分段隔离的阀门，并在每一隔离段上预留检漏仪器接口。

(7)零件结构设计时，尽量避免采用可能干扰检漏工作的设计方案。例如在真空室内螺钉孔不能采用盲孔形式，因为安装螺钉后螺孔内部剩余空间的气体只能通过螺纹间隙逸出，形成虚漏，从而延长系统抽气时间，干扰检漏正常进行。

(8)与此类似，结构设计中不允许存在连续双面焊缝和多层密封圈结构，因为这会在中间形成“寄生容积”。当只有内侧焊缝或密封圈有漏孔时，“寄生容积”内的气体会形成虚漏;而当内、外双侧焊缝或密封圈同时泄漏时，“寄生容积”使示漏气体穿越双层焊缝的响应时间过长，无法正常检漏。

(9)焊接结构设计时，尽量减少总装后用检漏仪无法检漏的焊缝。