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    安装在油扩散泵进气口用以降低泵液的返流和返迁移的装置称为挡板。泵液的  返流可依空间途径和沿泵壁蠕动爬移两种方式进入容器。用于超高真空的挡板不仅  要求具备光学密闭用以阻挡油蒸气分子通过泵入口直接进入容器,还应当具有良好  的防爬性能。根据挡板所使用的冷却介质,可将挡板分为水冷挡板和氟利昂挡板,  前者冷却温度为15~10℃(地区供水温度),后者常用的制冷介质有氟利昂12和  氟利昂22,采用氟利昂22的制冷设备单极可获得一40℃的低温,辅以二次酒精流  程,温度可达—100℃,因而捕集泵油的返流效果更好,可获得106~10Pa的  真空度,但它的冷却系统需要配置相应的制冷设备,和水冷系统比较,价格昂贵,  噪声大,占地面积大,故障率高。在挡板与阱配合使用的情况下,选用氟利昂挡  板,实际效果不大。挡板的冷却一般有直冷和间接冷却两种方式,图3-51为直接  通入冷却介质的结构形式,冷却效果好,缺点是不易清洗,特别是盘管与冷却板的  焊接狭缝部位,可能还会出现虚漏,一旦盘管出现漏气时修复困难。图3-52所示  为间冷式挡板,依靠撑紧结构紧贴在挡板内壁的冷却筒来冷却挡板,冷却效果不如  直冷式,特别是图3-52(a)中间的挡板靠焊在上面的导热筋板冷却,冷却效果差。  图3-52(b)所示为半月形挡板是直接焊在冷却桶上,热传导面积较大,冷却效果  较(a)好。间冷式的优点是加工、清洗及真空泵维修容易。


挡板的另一个性能指标是应具有较大的流导,这样才能够有效地发挥泵的抽  速。用蒙特卡洛法给出的不同挡板的比流导(单位进气口面积的流导)和最大二次  束流角见表3-20。

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