(1)运用  涡轮分子泵正常工作需要小于1Pa的前级压力。一般的机械泵可作为该泵的前级泵  中频电动机的启动由中频电源内的电子装置控制。在几分钟内使泵升至额定转速。中频电机  工作时通常以风扇或通水进行冷却  当泵进入正常转速后,为达到极限压力,应对被抽容器及泵体进行烘烤除气,泵体的除  气温度为100~120℃,除气后可得到约10-8的极限压力  需要注意的是:①涡轮分子泵对相对分子质量大的气体压缩比大,故极限压力主要取  决于相对分子质量小的气体成分。如H2、He等。此外,容器及泵体放出的水汽也是影响  极限压力的重要因素。  ②涡轮分子泵低真空部位的轴承润滑油也是一个重要污染源,因此该泵是一个准无  油的真空泵。在泵停止运转时,应及时灌入干燥氮气,可以抵制润滑油蒸气的扩散。若  想得到全无油的涡轮分子泵,必须对轴承进行改进,如可使用气体轴承,磁悬浮轴承的  分子泵。  由于该泵具有高速旋转的部件,使得它不能在磁场下运用。因为这会产生涡流导致  、叶片变形等效果。一般允许的杂散磁通密度为0.004~0.011T。  ④涡轮分子泵虽然具有启动快、停泵快的优点。但该泵的缺点对H2、He等轻质量气  体的压缩比小。也由于泵内旋转部件与静止部件间间隙很小,必须注意防止各种碎屑飞入泵
内,造成损伤的事故  (2)环境条件要求  涡轮分子泵应在下列环境条件下工作  ①环境温度为4~40℃;  ②空气相对湿度小于85%;  ③冷却水进水温度不高于25℃  (3)泵的使用条件  ①泵应避免抽除带粉尘、腐蚀性或爆炸性气体。泵在正常运转时,不允许直接引入大  气,不允许有强烈径向振动  ②为了除气目的,对泵壳测试罩和真空测量规管进行烘烤。其烘烤温度:泵体及泵壳  上的法兰为120℃,测试罩或真空容器为300℃;真空测试规管为400℃。  ③推荐的前级泵应符合表422要求
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