正宇真空设备
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(1)泵的几何抽速
当除从图442得知、由于转千的不断旋转,被抽气体从吸气口进入泵腔,被封闭在吸气腔 v之内、再经排气口排出泵外,由于在吸入V。空间内的气体没有被压缩,当转子的顶部转 口边缘时,V空间这时与排气侧相通,由千1气侧气体压力较高,有部分高压气体 流到V空间内,使泵腔内的压力突然升高达到排气压力。此即所谓的外压缩过程,转子 续旋转时,被抽气体被排出泵外,两个转子的不断运转,即实现了罗茨泵的抽气过程,转 的主轴旋转一周,共排出四个V。容积的气体,因而,泵的几何抽速为
…=4260=2xR21nkn10(L./s (4-41)式中n泵轴的转数,r/mm; R—转子的半径
1—转子的长度
转子断面系数,已知转子断面形状后,k0值便可确定 为了避免罗茨泵的误操作,一般多设有旁路溢流阀。由泵的许可压力差△P来设计旁路 溢流阀,可在大气压力下启动,使罗茨泵和前级泵同时连续运转,因而对容器的抽气时间大 为缩短(达30%-50%),其结构如图441所示
在旁路溢流阀打开期间,罗茨泵的抽速为
式中5、前级泵抽速
泵出口压力
pA泵人口压力;
△p—泵的溢流阀的许可压力差,△p=P、PA
前级泵抽速
泵出口压力
泵人口压力
△P泵的溢流阀的许可压力差,△P=P,一P 从式(4-42)可以看出,罗茨泵的抽速随人 口压力pA下降而有所增加,故可缩短启动时间 从图4-46得知,曲线1为前级泵的抽速曲线 线2为罗茨泵在13hPa时启动的抽速曲线,曲线 为带溢流阀的罗茨泵抽速曲线,图上4为有溢流 阀工作,增加的抽速部分因而,有溢流阀的罗茨 泵可缩短启动时间 2)罗茨泵的有效抽速气量
罗茨泵的有效抽气量Qn可从理论抽气量Q p/hP 和通过间隙从排气侧向吸气侧返流量Qv之差来确 图446罗茨泵有、无溢流阀时抽速的比
当罗茨泵的入口压力为PA时,理论抽气量Q则为
对于罗茨泵的返流量Qv,可由两部分组成。即式中Q 转子与泵体间的间隙泄漏量
若间隙的流导为L,前级压力为p、,则
子全部人旧级侧,而 快,没
到高真空倒被解 由于罗皮聚的转子 子暗合处的空图容积,即所谓的有害空间内的气体被带回到高真空侧,这部分返流线和 真空例,引起返,如转子 Q即
转子返流速率 四此、有抽气量Q则可用下式计算 (3)军流量时压蜡比 将羅口封闭,使Qm=0,由式(4-48)可得出 零流量压缩比K。是罗茨泵最重要的性能参数
它可通过测量得到,它与气体种类 有关。压缩比K。的最大值用Kamx表 罗茨泵的零流量压缩比K0与出口压力的关 N侧第二项小于,故近似将式4101) 447所示,因为K0通
因而,式(4 较大,因而,的返流作 流作用相比可以略去,因而 图
前级压
在p,<10-1hP 的返流作用小于s,的返流 K 较高的
在这时有所增加,因而压缩比K 滞流态,流导 在向高的户,方向上有所下降。在低的p,条件下,流导L处于分子流状态是定值,这时受s 的影响,K0在向低的p,方向上也是降低的。而在p≈1hPa附近K。有最大值Komx出现 如图4-47所示 泵的尺寸增加使泵的s1比L增加的快,因此大容量的罗茨泵的K。也有所增加 447上也能看出,大泵的K0较高, pA.。(在罗茨 罗茨泵的极限压
用前级泵的极限压力 和前级泵构成机组 比来求得 和与其相对应的
K
(4-53) K0=10,故罗茨泵的极限压力为p,=1×10-3hPa 双级罗茨泵的压缩比约等
)这时对 例如p=1×10-2hPa,对于 RUVAC WA1000泵来说(见图4-47 压力
压缩比的连级某可得到更低的极限
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