化征氮质谱检漏仪性能的主要指标是它的漏率  度qmn(即最小可检漏率)和分压比灵敏度  (亦即最小可检分压比),这是两个在氮质谱检  仪出厂校准时所规定的最佳条件下所能实现的仪  图1124氮质谓检漏仪在
辅助真空系统中的位置  器灵敏度。但是在利用氨质谱检漏仪进行具体的检1一喷;2一被检件3一高真空:4一扩就  丽时,由于诸多具体条件的不同,因此仪器所能达  6一前级真空容器1G一低真空
到的灵敏度与其在最佳条件下所测得的灵敏度是不  前级泵:8一检漏仅
会相同的。通常把仪器在使用时所能达到灵敏度称为仪器的检漏灵敏度,该灵敏度是低于仅器  校准时所给出的灵敏度的  氨质谱检漏仪的漏率灵敏度,或称最小可检漏率,记作9m,它是指检漏仅处于最佳工  作条件下,以一个标准大气压的纯氢气为示漏气体,进行动态检漏时,所能检出的最小漏孔的  漏率。这里所说的最佳条件,就是被检件出气很少且没有大漏孔,仪器本身的工作参数调整到  最佳工作状态的条件。即仪器节流阀完全开启,质谱室内为最佳工作压力,没有轴助真空系统  分流,仪器本底和噪声最小,放大器放大倍数最大,发射电流和加速电压稳定,工作压力稳定  以及氮峰准确等。而动态检漏则是指检漏时仪器内部真空系统仍然在正常抽气(不是累计法检  漏),而且当真空系统在时间常数不大于1s的条件下,仪器的反应时间不大于3s时所进行的  检漏。最小可检漏率,则是指仪器输出表上可以观察出来的最小的指示变化,该变化主要受无  规律起伏变化的噪声所限制。仪器的噪声是由于各种参数不稳定而引起的,外电源电压波动  真空度变化、发射电流变化、加速电压变化、放大器性能变化及外界电磁场干扰等都会引起输  出仪表的不稳定摆动。如果漏入的氮气使输出仪表的变化值小于噪声,那么我们就很难判断究  竟是漏气信号还是噪声,因此,嗓声的大小也就成为能否判断漏气信号的标准。所以,这里所  指的“最小可检漏率”是指引起输出指示的变化量等于二倍(也有规定为一倍)噪声所对应的  漏率值。因此,检漏时应尽量采取措施降低仪器噪声,以利最小可检漏率。  在检漏仪质谱室处于工作压力下,仪器可检出的氦分压比的最小变化量称为分压比灵  度,亦称为最小可检分压比,记作Ymn  氦质谱检漏仪在实际检漏条件下所能达到的灵敏度称作检漏灵敏度。由于检漏时保证不  校准仪器时所规