小型制冷机低温泵的启动压力受制冷功率限制,不能在大气压下工作,可根据  对真空清洁程度的要求,将系统压力粗抽到100-101a即可启动制冷机压缩机  达到规定的制冷时间后即可关闭前级粗抽阀门停止粗抽,打开高真空阀切换到低温  泵抽气。低温泵进气口允许的最高压力称为转换压力(与二级冷头制冷功率和被抽  容器体积有关),应按照厂家给出的转换压力进行操作,过高的转换压力会影响制冷机低温泵的正常工作  小型制冷机低温泵与溅射离子泵相比,启动容易,能抽除大量氢气,不存在高的往复运动,会引起轻酸的振动,系统配置电子能谐仪、二次离子谐仪和其他表面分析仪时,需要采用有效的减振措施  低温泵进气口冷板温度远低于真空容器的壁温,这种温度场对泵口附近的气体  分子的空间分布有明显的改变,会影响真空计的测量精度,严重时误差接近一倍之  多。同理,不同温度表面蒸发出的分子速度不同,待别是低温面较大的系统(如空  间环模设备)很难阐述系统中压力的确切意义,这是在进行表面分析研究时需要特别关切的问题
低温泵另一问题是制冷机能力有限,容易受长波红外线的辐射影响,试件或生  产工艺用加热器进行加热时,对低温表而需设计热屏蔽(如泵口加装水冷挡板等)要求热屏蔽的设计既要具有良好的屏蔽效果又要不使泵的抽速过度降低
使用小型制冷机低温泵最值得注意的问题是停止泵运转时的安全问题。整个运转期间所抽除的气体都被冷凝吸附在泵内,停止运转后随着低温板的升温,被抽气体将全部释放出来,形成的高压气体一旦超过泵体的机械强度,可能发生爆炸事故。对于小型的超高真空系统,运转时间很短,抽出的气量很少,所有的气量都不足以形成高于大气压,停泵后可以不用前级泵将释放的气体抽除,等下次启动低温泵时再预抽释放的气体。如果抽气时间很长,抽气量很大,停泵时必须打开前级泵抽除释放的气体,直到二极冷头升温到安全温度,才能全部停掉抽气系统。不论何种情况,都要经常检查维修过压安全阀,一且释放的气压过高,能够自动排向大气,确保泵体安全。
另一个安全问题是不能用低温泵抽除像H2、O2混合的危险气体或SiH4这种自燃气体,否则会存在爆炸安全隐患。最好安装能将低温泵释放的气体排出室外的排气管道,作为安全防护的第二道防线