凡在真空泵的抽气流道内无任何液态工作介质或密封介质的在夏泉  无油泵可使被抽容器内获得清洁真空,在排气时不污染环境,是一种很有发展前途的真空泵  无油往复泵主要用在半导体工业、医药工业、表面科学和食品工业等领域。  设计无油往复泵的关键是活塞环和密封环或填料函的自润滑材料。目前使用最多的是填充  聚四氟乙烯材料
填充聚四氟乙烯由聚四氟乙烯(PTB  数种填充物组成,如炭纤维、玻璃纤维、青铜粉、石  墨、二硫化钼等按一定比例组成的混合物,经过压制  烧结后,可加工成活塞环。这种活塞环韧性较好,不  易折断,化学性质稳定,耐高温达250℃,低温达  00℃,并能在金属表面形成一层薄膜,摩擦系数  小,因而具有良好自润滑性能。  炭纤维增强聚四氟乙烯(CFRP)是一种新兴的密  图7-14无十字头往复泵示意图
材料,其耐磨性、耐热性、强度及弹性模量均高于  其他填充聚四氟乙烯,自润滑性能优异,最近几年发  展很快  为减少活塞杆处的填料密封,无油往复泵常采用无十字头的结构,如图7-14所示。这种  结构使泵的尺寸和重量都减小了,成本降低了,但在曲轴箱内需抽真空,曲轴伸出端必须采用  无油机械密封  为降低往复泵的极限压力,美国瓦里安( Varian)公司开发出一种三级往复泵,如图7-15  所示。它是由四个阶梯形活塞和四个阶梯形汽缸组成,活塞的背面是小直径部分,活塞的背面  空间由次级活塞抽气,以减少泄漏降低极限压力。每个汽缸都有进气阀和排气阀。这四个活塞，真空泵维修。