真空阀门是在真空系统中用来接通、切断气流,调节气体流量或分配气流的真  空元件。所有的真空系统、真空装置都设有真空阀门将真空泵通过真空管道与抽  系统连接起来,或用真空阀门将各个真空室连接起来以实现某种特定的工艺流程  通常,设计真空系统时根据真空工艺的要求,来选择不同类型的真空阀门,例如真  空计校准和直空泵抽速测量,需要配置高精度的微真空放气间,用以调节系统的  真空度。而用来对真空室或油封机械泵放气,只须选用一股的真空放气阀即可满足  需要。被抽气容器采用直角管道与真空泵维修连接的真空抽气系统,可选用直角阀门来  代替弯管。电动、气动阀门,可用于自动控制的真空系统,而手动阀门则常用于简  单的真空抽气系统  灯空阀门不同于其他工业常用的阀门,其最主要特点是它对阀门的气密性和漏  率要求极高。阀板的经常开、关最容易造成密封元件表面磨损造成泄漏,特别是金属密封的超高真空阀门,问题更为严重,因此,阀门材料的选择至关重要。此外真空阀门还要求气体的阻力小(即尽可能大的流导),传动部件操作轻便灵活,容易清洗安装;密封部件耐磨性要好,能反复使用,寿命长
金属真空阀门的阀体及传动部件,主要有钢铁、铝、铜等金属材料,手动阅门的驱动手轮和阀体外部的次要部件可采用高强度塑料,玻璃阀门(又称活塞、考克),常用于玻璃真空系统。玻璃阀门的优点是制作容易、使用方便,易于清洗观察,玻璃的化学稳定性和绝缘性好,放气量远远低于金属。密封主要依靠真空油脂,不存在磨损问题,因而密封可靠,寿命长。缺点是玻璃的脆性,影响它的使用范围
真空系统全部件中,真空阀门出现的问题最多。特别是用于超高真空系统的金属密封阀门,要经常承受高温烘烤,温度的上升或下降过程中,金属的热胀冷缩最容易产生泄漏。其次是阀板密封材料的损伤、划痕以及附着在密封面上的粉尘杂质等,也都是造成泄漏的重要原因。特别是阀门的运动部件在运动轨道上隐藏的杂质、污垢及金属的尖锐棱角等造成的磨损或阀座上的灰尘、毛发等外来物质都会造
漏气。转动密封的气密性优于滑动密封,例如气动阀门的直线传动轴,漏气的可能性最大。建议每次开机时,首先对真空系统的漏气速率进行测量,发现漏率变大  时应首先对阀门的气密性进行检测。并且应定时维修,提高系统的可靠性  可烘烤阀门的烘烤温度一般在350℃以下,过高的烘烤温度很难确保长期运转  的可靠性,只要能满足系统对阀门。