①钛泵以钛升华泵为主是获得高真空或超高真空的泵种之一,工作压力范围为0.13  1×10Pa,启动压力为1.3Pan,但它不能单独使用,若配置无油泵或分子筛吸附泵为前级  泵可获得全无油的超高真空。若配置带吸附阱的机械泵或带冷阱的扩散泵机组可获得近似无

油的超高真空  ②电离升华泵结构简单、体积小、制造方便。既有钛升华泵的特点,能使钛加热到  120℃升华,来抽除活性气体,又具备溅射离子泵的特点,对惰性气体电离抽气,且不用磁  场而获得高效率的抽气作用。但它的缺点是电离抽气与钛损耗之间有矛盾,要提高惰性气体  抽速、势必加高阳极电压,提高发射电流,因此使钛的损耗增大,泵的寿命缩短。欲增加钛储量,延长泵的寿命,阳极要变粗,电子轨道变短,电离抽速下降。这种泵的直径越小所需  极电压越高,电离轰击阳极会产生有害于人体的X射线,为此该泵不适宜作大泵
③钛泵工作时不能突然冲入大气,由于密封元件失效或测量用真空计玻璃规管断裂,就会烧坏蒸发器的加热丝,严重时需要重新更换蒸发器和清洁沉积在泵壁内表面的被氧化的钛膜
④钛泵工作后最重要的维护工作是停泵后关闭抽气阀门,使泵处于真空状态,尽可能  避免长期暴露大气
泵壁钛膜过厚或起皮脱落影响抽速或极限压力时需要清除钛膜。可根据泵壁大小决定采  用机械砂磨或化学方法清理,这种需要定期清理钛膜的缺点是影响蒸发钛泵广泛应用的最主  要因素.