正宇真空设备
Zhengyu vacuum EquipmentProfessional vacuum pump equipment and maintenance parts service provider
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把抽气低温面(包括低温挡板)组装在闭合的深低温循环系统中,就构成小型 制冷机低温泵。小型制冷机低温泵通常采用两级(或三级)制冷的氦封闭循环制冷 机,选用这种制冷机的原因是它在7K和15K时能提供抽除真空室气体所必需的 制冷功率,各类制冷机能提供的制冷功率范围如下。 ①吉福特麦克马洪循环:Tm=7K、20K的制冷功率为1~20W。 ②斯特林循环:Tmn=12K、20K的制冷功率为10~400W ③布雷敦循环(气体制冷循环):20K的制冷功率为0.1~10kW。 ④克劳德循环(液体循环):4K的制冷功率为0.1~10kW。 适用于小型低温泵的制冷循环,见表2-35。其中用得最多是吉福特麦克马 洪循环(GM循环)。无负荷时一级冷头可获得7K的低温,20K时制冷功率为 1~20W。吉福特麦克马洪循环的突出优点是:活塞往返频率低(50~100Hz), 压缩比低(3~4),这样就保证了运转时振动小、活塞机械负荷小和使用可靠 性高。
特林( Stirling)循环,一级冷头最低温度12K、20K时制冷功率10 400W,制冷循环的平均压力高(30bm,M=105Pa)工作频率高,热力学效率 高,但斯特林循环制冷机的振动较大,多用于大抽速低温泵。 2.4.11.1GM循环制冷机的工作原理 GM循环制冷机将压缩机和膨胀机分开,前者作为气源,后者产生制冷效应 中间用阀门控制膨胀机的工作。与斯特林制冷机相比,效率低,体积和质量大,但 它的主要优点是压缩机的机械振动传不到冷头,并且两部分分开后容易制造,膨胀 机部分很紧凑,使用方便。由于活塞运动速率很低(50~500r/min),汽缸和膨胀 活塞之间的间隙大,膨胀活塞两面的压差小,对密封要求低,压缩机用油润滑,这 就大大提高了膨胀机的使用寿命,目前这种制冷机的维修周期可达3000h,寿命上 万小时。
GM循环制冷机由吉福特( Gifford)和麦克马洪( McMahon)于1959年提 出,其基本组成部分是压缩机、膨胀机及油吸附器等装置,单级GM循环制冷机 流程如图2-59所示。压缩机的作用是把从膨胀机来的低压气体进行压缩,提供高压力的工质(氦气)。现代压缩机大都使用油冷却和润滑的旋片式全封闭氦压机以 及必要的冷却和过滤净化装置。膨胀机的作用是使常温高压气体在它内部绝热膨胀 制冷,为使它有效地工作,除膨胀机汽缸需要采用真空绝热技术外,还要使膨胀机 内的活塞运动和进气阀门、排气阀门的启闭构成一定的逻辑关系。氦气经压缩机压 缩为高温高压气体,与冷却器热交换后再经过油分离器、油吸附器变为高纯度高压常温氦气,经进气阀进入制冷机汽缸,绝热膨胀做功后再经排气阀流入压缩机,形成封闭循环。汽缸中的活塞驱动方式有机械和气动两种,机械驱动采用低速电机带动两个偏心轮(按一定角度配置)和活塞曲轴,使进、排气阀按一定的配气角交替开启、关闭,同时曲轴带动活塞做上下往复运动,使GM循环制冷系统内的压力产生周期性变化,其制冷流程压力容积关系曲线如图2-60所示。单级GM制冷机的制冷原理如下。
当活塞运动到下死点(冷腔容积接近于零,热腔体积最大)位置6时,进气阀 打开(排气阀关闭),常温高压氦气充人热腔和蓄冷器,气体压力从位置6突然升 高到位置1,气体压缩热在冷腔接近于零。接着活塞变为向上运动,热腔中常温高 压氦气经过蓄冷器被冷却后进入冷腔,这时气体比体积随之减少,压力降低,常温 高压氦气经进气阀不断补入,气体压力如线段1-2,维持压力不变。当活塞运动到 接近上死点位置2时,进气阀关闭,充气结束。活塞继续向上运动,工质压力沿曲 线2-3下降,直到活塞运到死点位置3,排气阀打开,冷腔中的低温高压氦气与压 缩机进气端接通,氦气绝热膨胀制冷,获得净冷量,压力变化为3-4。之后,活塞 向下运动,冷腔中的低压冷氦气经过蓄冷器,使蓄冷器内的填料温度进一步降低, 分别流入热腔和压缩机的进气端,压力维持不变(4-5)。当活塞运动到接近最低位 置时,排气阀门关闭,气体压力沿5-6升高,活塞回到位置6时,进气阀门打开, 开始下一个循环。每次循环中,通过进气阀经过蓄冷器冷却流入冷腔高压氦气的初 始温度比上个循环更低,因而冷腔中绝热膨胀阶段以后的温度也就更低,从而进 步冷却冷腔壁和蓄冷器内填料,这样,经过多次循环,温度不断降低,直到热量的 动平衡建立为止 为了使制冷机的结构紧凑,在小型制冷机中将活塞组合为一差动活塞(包括三 级结构在内),蓄冷器放在活塞内。用于低温泵二级制冷GM循环制冷机的缸体内 部结构如图261所示