1超高真空油扩散泵的极限压力  超高真空油扩散泵极限压力是指没有外来气源的条件下,泵长期运转所能达到  的最低压力(即真空泵自身所能达到的最低压力),此时泵的抽速为零。事实上,  测定扩散泵极限压力时,需要装上按国家标准规定的测试罩,并依照规定程序进行  测定,此时测试罩内的气体负载,将影响到实测的极限压力值。  泵的极限压力可用下式表示:
P=P+QF+Oc

式中p—扩散泵的极限压力,Pa;  P—测试罩壁温下泵油的饱和蒸气压,Pa  S扩散泵的抽速,L/s;  Q-泵的返流气体流量,Pa·L/s;  Q测试罩内气源的气体流量(出气量、漏气量

从公式(21)可以看出,测试罩的Qc值,可通过超高真空焊缝及密封结构设  计、焊接加工工艺及严格的检漏规范,将漏气量减少到允许值以下;对于材料的出  气量,可采用300℃以上高温烘烤和连续长期抽气的方法,以降低材料的出气速  率。若不考虑测试罩、人口处泵壁的漏气、材料放气对极限压力的影响,理论上影  响超高真空油扩散泵极限压力的主要因素是泵油的饱和蒸气压和泵的返流(泵的返  流包括油蒸气和被压缩的气体返流)。它们和泵油的选用、泵油的分馏设计、泵油  的防返油结构以及泵的喷口级数等有关,因此,选用超高真空油扩散泵时,应注意  y下泵的性能特点。