正宇真空设备
Zhengyu vacuum EquipmentProfessional vacuum pump equipment and maintenance parts service provider
产品分类
Product Categories最简单的低国泵是贮精式低国泵,它利用低温恒温器技术和液氮挡板技术,曾 广泛用于研究机构的实验室中,这种泵需要自动液氮加注装置,用于保持液复面 稳定,否则,液面下降,不仅影响气体压力的波动,而且还有大量气体释放引起的
爆炸危险 图251所示为巴尔采斯公司的KR¥1000U型贮槽式低温泵结构。对氮抽速 S、=lm3/s:对氢Sn=3m3/s.抽气用泵芯直接插入真空室内,液氮贮罐为0.25L 的不锈钢容器,悬挂在一根薄壁合金管上,管内有液氮输送管及液面传感器和排气 管.液氮贮罐外面用涂黑的人字形铜挡板屏蔽,用液氮冷却。启动时先将真空室预 抽真空,灌满液氮,当液氮贮罐靠辐射被冷却到接近液氮温度时,再将液氦注满冷却贮罐并完全充满,大约需要1L的液氦
本芬努蒂改进的贮槽式超高真空低温泵结构如图2-52所示。液氮贮槽装在泵的中心,贮槽外壁镀银抛光[A2=0.0012W/(cm,K)]。贮槽底部粘有活性炭用以抽除氢、氖氮等难以冷凝的气体,液氦贮槽侧壁设计成双层夹壁,夹层中充有50Pa氖气,氖气可以起到恒温器的作用,当液氦液面波动时不会影响容器内的压力。
液氦耗量是贮槽式液氦低温泵设计中的重要指标。计算表明,如果容器的高等于它的半径,95.5%的液氦耗量是外侧7K液氮屏蔽板的热辐射引起的,这些耗量中85%的消耗在夹层壁上。因此在贮槽夹层壁与液氮胆之间,增加一个防辐射屏,并将其固定在液氮贮槽的颈管处,靠蒸发排出的气氮冷却,温度T<30K, 屏的内壁涂黑[A=0.9W/(cm·K)],外壁镀银抛光,这样可使双层壁的热负荷 降低到忽略不计。液氮贮槽的底部的人字形挡板投影面重叠1%,挡板的热辐射透 射率rp<1×10-3,真空中经过450℃高温烘烤后的极限压力小于10Pa。该泵的其他性能指标,见表2-33。